隨著半導體行業(yè)的不斷發(fā)展,對晶圓ID的精準讀取和追溯需求日益增加。為解決傳統(tǒng)視覺技術在字符識別過程中遇到的困難,??禉C器人推出了晶圓ID讀取軟硬件一體化的新產(chǎn)品SC6500-AI-WID。
該產(chǎn)品具備高效的AI信息識別和解碼能力,優(yōu)異的光學設計搭配簡單易用的軟件,為晶圓生產(chǎn)提供了全流程的ID讀取和追溯能力,助力半導體行業(yè)的數(shù)字化和智能化升級。
專業(yè)化光學設計,智能化適配應用
SC6500-AI-WID集成了專為硅片、晶圓識別而設計和開發(fā)的光學成像系統(tǒng),該系統(tǒng)為不同工藝設備端的晶圓ID識別提供了優(yōu)良的成像效果。
SC6500-AI-WID內(nèi)置明視場和暗視場照明模式,不同類型晶圓上的字符標識都可以清晰成像,用戶可以根據(jù)實際應用場景進行靈活的光源控制。
高性能的OCR識別算法
SC6500-AI-WID搭載了專為晶圓ID讀取量身定制的AI識別算法,已通過多個現(xiàn)場驗證,可輕松應對不同字體、大小和背景干擾等復雜情況,能夠精準、自動識別視野內(nèi)任意位置的字符信息,最高可實現(xiàn)36000 Pcs/H的超高速讀取率,識別準確率更是高達99.9%以上。
此外,可兼容SEMI種類的所有字體,而且可以兼容任意位數(shù)的長度,如12位、16位、18位等。
高精度的解碼算法
SC6500-AI-WID支持半導體行業(yè)常用的T7 Data Matrix、QR-Code、一維碼等類型碼制,能夠讀取各類復雜場景下的信息,30ms內(nèi)即可完成,可以與OCR識別結果進行比較,從而進一步提高生產(chǎn)信息追溯的準確性。
高靈活性的軟件平臺
SC6500-AI-WID內(nèi)置了VM算法平臺,具有AI OCR及高精度讀碼算法,僅需簡單配置即可快速使用。同時,還提供了個性化的運行監(jiān)控配置界面,方便用戶根據(jù)需要設置信息顯示界面,實時查看檢測結果。
更多應用場景
除晶圓信息的識別追溯外,SC6500-AI-WID還可應用于晶圓位置檢測及邊緣缺陷檢測等場景。
SC6500-AI-WID外觀設計緊湊,設備安裝空間更小,可集成到自動化晶圓處理,如氣象沉積機、晶圓打標機、晶圓分選機、檢測AOI設備和搬運設備等。
??礢C6500-AI-WID晶圓ID讀取設備參數(shù):